dlc涂層是一種由碳元素組成,與鉆石性質(zhì)相似,同時又有石墨原子組成的物質(zhì)。類金剛石dlc涂層。dlc涂層是一種無定形薄膜,由于其硬度高、彈性模量大、摩擦小、耐磨性好、真空摩擦學(xué)性能好等特點,被廣泛應(yīng)用于摩擦涂層中,受到摩擦學(xué)界的重視。現(xiàn)有的dlc涂層薄膜制備方法有很多種,不同的制備方法所使用的碳源和離子能量到達基體表面時,沉積的dlc薄膜在結(jié)構(gòu)和性能上有很大的差異,并且具有不同的摩擦特性。
一、硬度和彈性模量。dlc膜的硬度和彈性模量隨沉積方法的不同而有很大的差別,采用磁濾陰極電弧沉積法可以得到硬度達到甚至超過金剛石的dlc膜,dlc膜的硬度可達50GPa以上,而離子源結(jié)合非平衡磁控濺射沉積法的硬度可達21GPa。在dlc膜中,Si,N三種組分的摻入可使DLC膜的硬度有所提高。薄膜材料的彈性模量較高,雖然低于金剛(1100GPa),但明顯高于普通金屬和陶瓷材料。
二、內(nèi)應(yīng)力與粘結(jié)強度。內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強度是決定薄膜穩(wěn)定性和使用壽命的兩個重要因素,內(nèi)應(yīng)力高和結(jié)合強度低的dlc膜在使用中易產(chǎn)生裂紋、褶皺,甚至脫落,因此制備出的DLC膜有適當(dāng)?shù)膲簯?yīng)力和高結(jié)合強度。大多數(shù)研究表明,dlc膜直接在基體上沉積,膜/基結(jié)合強度一般較低,采用中間梯度過渡層法,可以提高DLC膜與基體的結(jié)合強度,DLC膜的結(jié)合力達到44N-74N,膜導(dǎo)電性總體厚度達到5um。
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