類金剛石涂層或通稱DLC涂層是包含金剛石結構和石墨構造的亞穩(wěn)非晶態(tài)物質,碳原子具體以sp3和sp2雜化鍵結合。類金剛石涂層或通稱DLC涂層是一種非晶態(tài)膜,大部分可分成含氫類金剛石涂層和無氫類金剛石涂層兩種。含氫DLC涂層中的氫含量在20at.%?~?50at.%之間,sp3成分小于70%。無氫DLC涂層中常見的是四面體非晶碳(ta-C)膜。ta-C 涂層中以sp3鍵為主,sp3含量通常高過70%。
不一樣種類的類金剛石涂層的共同點是碳原子在空間結構上長程無序自然界中碳有兩種存在方式:金剛石和石墨。在金剛石結構中,每個碳原子都以sp3雜化軌道與另外四個碳原子產(chǎn)生共價鍵,產(chǎn)生一個正四面體,全部價電子參與產(chǎn)生共價鍵,無自由電子。石墨構造中的每個碳原子外層電子以sp2雜化軌道和相鄰的三個碳原子產(chǎn)生共價鍵并排列成六角平面的網(wǎng)狀結構,這些網(wǎng)狀結構又組成互相平行的片層構造,每個碳原子還剩下一個電子現(xiàn)階段世界上有多種多樣的DLC涂層的制備方式,所獲得的DLC涂層的成分,特性及應用范圍具有非常大的區(qū)別。