類金剛石薄膜,也被稱為DLC薄膜,是英文Diamond Like Carbon的簡稱。它是一種以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合生成的亞穩(wěn)態(tài)材料,兼具金剛石和石墨的優(yōu)良特性。這種薄膜具有高硬度、高電阻率、良好的光學(xué)性能以及優(yōu)秀的摩擦學(xué)特性。
具體來說,類金剛石薄膜的硬度、導(dǎo)熱性、絕緣性、化學(xué)穩(wěn)定性都相當(dāng)高,從紅外到紫外的高光學(xué)透過率也表現(xiàn)出色,并且具有良好的減摩特性。盡管除減摩性能外,其它性能均低于金剛石膜,但它仍然廣泛應(yīng)用于機械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,尤其作為減摩耐磨涂層在航空航天、金屬加工、醫(yī)療器件等眾多領(lǐng)域有著重要應(yīng)用。
類金剛石薄膜的制備方法多種多樣,其中一種常見的方法是通過射頻等離子增強化學(xué)氣象沉積設(shè)備,將陪鍍片置于設(shè)備的腔體內(nèi)部,經(jīng)過一系列的氣體通入、加熱和離子化等步驟,最終在陪鍍片表面形成類金剛石薄膜。
總的來說,類金剛石薄膜因其優(yōu)良的性能和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域而備受關(guān)注,隨著科技的進步,其在更多領(lǐng)域的應(yīng)用也將不斷擴展。