DLC涂層就是類金剛石鍍膜,由碳元素構成,在性質上與鉆石類似。那關于DLC涂層的生長肌理都有哪些呢?
含氫DLC涂層的生長機理。對含氫的DLC涂層來說,和CVD金剛石涂層一樣,通常被認為是碳與碳、碳和氫原子混雜以形成堅固的四面體結構,氫原子的存在促進SP3鍵的形成,刻蝕掉已經形成的SP2鍵;在無序的網絡結構中,氫原子能夠終止碳原子至外端的懸掛鍵,阻止碳原子形成SP2鍵。因為氫原子的存在有助于形成SP3鍵,所以人們認為在DLC涂層中,需要氫來生成SP3鍵,而SP3與氫含量的關系也被確定。
相關研究結果表明,隨著氫原子含量的增加,涂層中的SP3鍵含量增加,并在50%左右發(fā)現其硬度達到50%左右。建立了含氫金剛石涂層的生長模型可分為三個階段:等離子體(分子或原子分解、電離氣體)和等離子體與表面作用和涂層表面的作用。
無氫DLC涂層的生長機理研究。在一定的濃度范圍內,氫原子能促進涂層中SP3鍵的形成,許多研究人員采用氫化方法提高涂層中SP3的含量,但在后來的應用中卻發(fā)現并非如此。SP3和SP2鍵碳原子或由80%以上的SP3鍵碳原子組成的三維網狀結構組成,是由SP3和SP2鍵碳原子組成。里面沒有氫原子。
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